Anel de grafite revestido com carboneto de tântalo (TaC)

O revestimento de carboneto de tântalo é uma tecnologia avançada de revestimento de superfície que usa material de carboneto de tântalo para formar uma camada protetora dura, resistente ao desgaste e à corrosão na superfície do substrato. Este revestimento possui excelentes propriedades que aumentam significativamente a dureza do material, a resistência a altas temperaturas e a resistência química, ao mesmo tempo que reduz o atrito e o desgaste. Os revestimentos de carboneto de tântalo são amplamente utilizados em vários campos, incluindo fabricação industrial, aeroespacial, engenharia automotiva e equipamentos médicos, para prolongar a vida útil do material, melhorar a eficiência da produção e reduzir os custos de manutenção. Seja protegendo superfícies metálicas contra corrosão ou melhorando a resistência ao desgaste e à oxidação de peças mecânicas, os revestimentos de carboneto de tântalo fornecem uma solução confiável para uma variedade de aplicações.

A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da Semicera permite que os revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (susceptor de TaC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema de borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e Semicera Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.

 

Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia do CVD TaC com o esforço conjunto do departamento de P&D. É fácil ocorrer defeitos no processo de crescimento dos wafers de SiC, mas após o uso do TaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único 

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Parte Tac para crescimento de cristal único

Revestimento antidesgaste de carboneto de tântalo_ Protege o equipamento contra desgaste e corrosão Imagem em destaque

Grafite com anel revestido com TaC

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com e sem TaC

Foto do WeChat_20240227150053

Depois de usar TaC (direita)

Além disso, a vida útil dos produtos de revestimento TaC da Semicera é mais longa e mais resistente a altas temperaturas do que a do revestimento SiC. Após um longo período de dados de medição em laboratório, nosso TaC pode funcionar por um longo período a no máximo 2.300 graus Celsius. A seguir estão algumas de nossas amostras:

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Susceptor revestido com TaC

Tecnologia inovadora de revestimento de carboneto de tântalo_ Maior dureza do material e resistência a altas temperaturas

Grafite com reator revestido com TaC

Captura de tela do WeChat_20240227145010

(a) Diagrama esquemático do dispositivo de cultivo de lingote de cristal único de SiC pelo método PVT (b) Suporte de sementes revestido com TaC superior (incluindo sementes de SiC) (c) Anel guia de grafite revestido com TAC

ZDFVzCFV

Característica principal

Local de trabalho semicera

Local de trabalho de Semicera 2

Máquina de equipamento

Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD

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