Com o advento dos wafers de carboneto de silício (SiC) de 8 polegadas, os requisitos para vários processos de semicondutores tornaram-se cada vez mais rigorosos, especialmente para processos de epitaxia, onde as temperaturas podem exceder 2.000 graus Celsius. Materiais susceptores tradicionais, como grafite revestido com carboneto de silício, tendem a sublimar nessas altas temperaturas, interrompendo o processo de epitaxia. No entanto, o carboneto de tântalo CVD (TaC) resolve esse problema de maneira eficaz, suportando temperaturas de até 2.300 graus Celsius e oferecendo uma vida útil mais longa. Entre em contato com o susceptor de wafer de revestimento TaC CVD de carboneto de tântalo da Semicera para explorar mais sobre nossas soluções avançadas.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da Semicera permite que os revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (susceptor de TaC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Com o advento dos wafers de carboneto de silício (SiC) de 8 polegadas, os requisitos para vários processos de semicondutores tornaram-se cada vez mais rigorosos, especialmente para processos de epitaxia, onde as temperaturas podem exceder 2.000 graus Celsius. Materiais susceptores tradicionais, como grafite revestido com carboneto de silício, tendem a sublimar nessas altas temperaturas, interrompendo o processo de epitaxia. No entanto, o carboneto de tântalo CVD (TaC) resolve esse problema de maneira eficaz, suportando temperaturas de até 2.300 graus Celsius e oferecendo uma vida útil mais longa. Contato Semicera’ s Susceptor de wafer de revestimento de carboneto de tântalo TaC CVD para explorar mais sobre nossas soluções avançadas.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia do CVD TaC com o esforço conjunto do departamento de P&D. É fácil ocorrer defeitos no processo de crescimento dos wafers de SiC, mas após o uso do TaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
Além disso, os produtos revestidos com TaC da Semicera apresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação com Revestimentos de SiC. Medições de laboratório demonstraram que nossos revestimentos TaC podem funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
