Cassete Wafer – Projetado com precisão para o manuseio e armazenamento seguros de wafers semicondutores, garantindo proteção e limpeza ideais durante todo o processo de fabricação.
de Semícera Cassete de wafer é um componente crítico no processo de fabricação de semicondutores, projetado para segurar e transportar com segurança delicados wafers semicondutores. O Cassete de wafer fornece proteção excepcional, garantindo que cada wafer seja mantido livre de contaminantes e danos físicos durante o manuseio, armazenamento e transporte.
Construído com materiais de alta pureza e resistentes a produtos químicos, o Semicera Cassete de wafer garante os mais altos níveis de limpeza e durabilidade, essenciais para manter a integridade dos wafers em todas as etapas da produção. A engenharia de precisão desses cassetes permite uma integração perfeita com sistemas de manuseio automatizados, minimizando o risco de contaminação e danos mecânicos.
O desenho do Cassete de wafer também suporta fluxo de ar e controle de temperatura ideais, o que é crucial para processos que exigem condições ambientais específicas. Seja utilizado em salas limpas ou durante o processamento térmico, o Semicera Cassete de wafer foi projetado para atender às rigorosas demandas da indústria de semicondutores, fornecendo desempenho confiável e consistente para melhorar a eficiência de fabricação e a qualidade do produto.
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Unid |
Produção |
Pesquisar |
Fictício |
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Parâmetros de Cristal |
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Politipo |
4H |
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Erro de orientação de superfície |
<11-20 >4±0.15° |
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Parâmetros Elétricos |
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Dopante |
Nitrogênio tipo n |
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Resistividade |
0,015-0,025ohm·cm |
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Parâmetros Mecânicos |
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Diâmetro |
150,0±0,2 mm |
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Grossura |
350±25 µm |
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Orientação plana primária |
[1-100]±5° |
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Comprimento plano primário |
47,5±1,5mm |
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Apartamento secundário |
Nenhum |
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TTV |
≤5 µm |
≤10 µm |
≤15 µm |
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LTV |
≤3 μm(5mm*5mm) |
≤5 μm(5mm*5mm) |
≤10 μm(5mm*5mm) |
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Arco |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
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Urdidura |
≤35 µm |
≤45 µm |
≤55 µm |
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Rugosidade frontal (Si-face) (AFM) |
Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
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Estrutura |
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Densidade de microtubos |
<1 ea/cm2 |
<10 ea/cm2 |
<15 ea/cm2 |
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Impurezas metálicas |
≤5E10atoms/cm2 |
N / D |
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DBP |
≤1500 ea/cm2 |
≤3000 ea/cm2 |
N / D |
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TSD |
≤500 ea/cm2 |
≤1000 ea/cm2 |
N / D |
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Qualidade frontal |
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Frente |
Si |
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Acabamento de superfície |
CMP de face Si |
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Partículas |
≤60ea/wafer (tamanho≥0,3μm) |
N / D |
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Arranhões |
≤5ea/mm. Comprimento cumulativo ≤Diâmetro |
Comprimento cumulativo≤2*Diâmetro |
N / D |
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Casca de laranja/caroços/manchas/estrias/rachaduras/contaminação |
Nenhum |
N / D |
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Lascas/reentrâncias/fraturas/placas sextavadas nas bordas |
Nenhum |
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Áreas politípicas |
Nenhum |
Área acumulada≤20% |
Área acumulada≤30% |
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Marcação a laser frontal |
Nenhum |
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Qualidade traseira |
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Acabamento traseiro |
CMP face C |
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Arranhões |
≤5ea/mm, comprimento cumulativo≤2*Diâmetro |
N / D |
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Defeitos traseiros (lascas/recortes nas bordas) |
Nenhum |
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Rugosidade nas costas |
Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
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Marcação a laser traseira |
1 mm (da borda superior) |
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Borda |
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Borda |
Chanfro |
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Embalagem |
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Embalagem |
Epi-pronto com embalagem a vácuo Embalagem cassete multi-wafer |
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*Notas: “NA” significa sem solicitação. Itens não mencionados podem referir-se ao SEMI-STD. |
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