As placas superiores de cerâmica para máquinas de carga e descarga de zircônia são plataformas estruturais de alta precisão usadas em sistemas de carga e descarga de wafers semicondutores. Feitos de zircônia 3Y-PSZ (ZrO₂), eles oferecem excelente resistência mecânica, alta tenacidade à fratura e resistência superior ao desgaste. Essas placas superiores de cerâmica garantem suporte estável de wafer ou FOUP, alta precisão de posicionamento e baixa geração de partículas, tornando-as ideais para equipamentos de automação de salas limpas.
A zircônia é um material cerâmico de alto desempenho com excelente resistência mecânica e alta tenacidade à fratura à temperatura ambiente. A zircônia da Semicera (ZrO₂) é estabilizada com 3% em mol de ítria (3Y-PSZ) , que fornece uma microestrutura fina e uniforme adequada para usinagem de alta precisão.
Devido ao seu pequeno tamanho de grão e estrutura de fase estável, a zircônia 3Y-PSZ pode ser processada em componentes complexos e de alta precisão. É amplamente utilizado em peças mecânicas de precisão, ferramentas industriais e aplicações de engenharia de ponta.
A zircônia também oferece excelente resistência ao desgaste e ao impacto, tornando-a adequada para condições operacionais exigentes. Sua alta tenacidade permite manter a estabilidade estrutural sob estresse mecânico e é comumente usado em componentes de precisão, sistemas de corte industrial e peças resistentes ao desgaste.
Além disso, a zircônia é amplamente aplicada em moldes de precisão, componentes de conectores ópticos, meios de britagem e outros campos industriais que exigem alta confiabilidade e longa vida útil.
