4-дюймовые подложки из оксида галлия

4-дюймовые подложки из оксида галлия. Откройте новые уровни эффективности и производительности в силовой электронике и УФ-устройствах с помощью высококачественных 4-дюймовых подложек из оксида галлия от Semicera, разработанных для передовых полупроводниковых приложений.

Семицера с гордостью представляет свой 4-дюймовые подложки из оксида галлия , новаторский материал, разработанный для удовлетворения растущих потребностей высокопроизводительных полупроводниковых устройств. Оксид галлия (Ga2O3) подложки имеют сверхширокую запрещенную зону, что делает их идеальными для силовой электроники нового поколения, УФ-оптоэлектроники и высокочастотных устройств.

 

Ключевые особенности:

     • Сверхширокая запрещенная зона : 4-дюймовые подложки из оксида галлия имеют ширину запрещенной зоны около 4,8 эВ, что обеспечивает исключительную устойчивость к напряжению и температуре, значительно превосходя традиционные полупроводниковые материалы, такие как кремний.

     • Высокое напряжение пробоя : Эти подложки позволяют устройствам работать при более высоких напряжениях и мощностях, что делает их идеальными для высоковольтных приложений в силовой электронике.

     • Превосходная термическая стабильность : Подложки из оксида галлия обладают превосходной теплопроводностью, обеспечивая стабильную работу в экстремальных условиях и идеально подходят для использования в сложных условиях.

     • Высокое качество материала : Благодаря низкой плотности дефектов и высокому качеству кристаллов эти подложки обеспечивают надежную и стабильную работу, повышая эффективность и долговечность ваших устройств.

     • Универсальное применение : Подходит для широкого спектра применений, включая силовые транзисторы, диоды Шоттки и светодиодные устройства UV-C, что позволяет внедрять инновации как в силовой, так и в оптоэлектронной области.

 

Исследуйте будущее полупроводниковых технологий вместе с Semicera 4-дюймовые подложки из оксида галлия . Наши подложки предназначены для поддержки самых передовых приложений, обеспечивая надежность и эффективность, необходимые для современных устройств. Доверьтесь компании Semicera в отношении качества и инноваций в ваших полупроводниковых материалах.

Предметы

Производство

Исследовать

Дурачок

Параметры кристалла

Политип

4H

Ошибка ориентации поверхности

<11-20 >4±0.15°

Электрические параметры

легирующая примочка

Азот n-типа

Удельное сопротивление

0,015-0,025 Ом·см

Механические параметры

Диаметр

150,0±0,2 мм

Толщина

350±25 мкм

Первичная плоская ориентация

[1-100]±5°

Первичная плоская длина

47,5±1,5 мм

Вторичная квартира

Никто

ТТВ

≤5 мкм

≤10 мкм

≤15 мкм

Общая ценность

≤3 мкм(5мм*5мм)

≤5 мкм(5мм*5мм)

≤10 мкм(5мм*5мм)

Поклон

-15 мкм ~ 15 мкм

-35 мкм ~ 35 мкм

-45 мкм ~ 45 мкм

Деформация

≤35 мкм

≤45 мкм

≤55 мкм

Шероховатость передней поверхности (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Структура

Плотность микротрубок

&lt;1 шт./см2

&lt;10 шт/см2

&lt;15 шт/см2

Металлические примеси

≤5E10atoms/cm2

NA

БЛД

≤1500 шт/см2

≤3000 шт/см2

NA

ТСД

≤500 шт/см2

≤1000 шт/см2

NA

Переднее качество

Передний

Си

Чистота поверхности

Si-лицо CMP

Частицы

≤60 шт/пластина (размер ≥0,3 мкм)

NA

Царапины

≤5 шт./мм. Совокупная длина ≤Диаметр

Совокупная длина≤2*диаметр

NA

Апельсиновая корка/косточки/пятна/бороздки/трещины/загрязнения

Никто

NA

Краевые сколы/вмятины/изломы/шестигранные пластины

Никто

Политипные области

Никто

Совокупная площадь≤20%

Совокупная площадь≤30%

Передняя лазерная маркировка

Никто

Назад Качество

Задняя отделка

C-образная грань CMP

Царапины

≤5 шт./мм, совокупная длина≤2*диаметр

NA

Дефекты задней стороны (сколы/вмятины по краям)

Никто

Задняя шероховатость

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Задняя лазерная маркировка

1 мм (от верхнего края)

Край

Край

Фаска

Упаковка

Упаковка

Эпи-готовность в вакуумной упаковке

Многовафельная кассетная упаковка

*Примечания: «NA» означает отсутствие запроса. Неуказанные элементы могут относиться к SEMI-STD.

tech_1_2_size

SiC пластины

Новостная рассылка

С нетерпением ждем вашего контакта с нами