Semicera Semiconductor — ведущий поставщик, специализирующийся на пластинах и современных полупроводниковых расходных материалах. Мы стремимся предоставлять высококачественную, надежную и инновационную продукцию для производства полупроводников, фотоэлектрической промышленности и других смежных областей. Наша линейка продуктов включает графитовые изделия с покрытием SiC/TaC и керамические изделия, включая различные материалы, такие как карбид кремния, нитрид кремния, оксид алюминия и т. д. Как надежный поставщик, мы понимаем важность расходных материалов в производственном процессе и стремимся поставлять продукцию, соответствующую самым высоким стандартам качества, чтобы удовлетворить потребности наших клиентов.
Печные трубки из карбида кремния (SiC): передовое решение для фотоэлектрической и полупроводниковой промышленности
Печные трубы из карбида кремния (SiC) являются важнейшими компонентами в фотоэлектрической и полупроводниковой промышленности. Традиционные кварцевые печные трубы эффективны до 800°C, но при использовании в окислительно-диффузионных процессах, превышающих 1000°C, срок их службы резко снижается. Это приводит к напряжению, деформации и загрязнению пластин из-за выщелачивания примесей из кварцевой трубки.
Напротив, печные трубы из карбида кремния обеспечивают превосходную производительность и долговечность, обладая многочисленными преимуществами.:
-Исключительная высокотемпературная стабильность : Печные трубы из карбида кремния выдерживают температуру до 1700°C на воздухе и до 1950°C в инертных газах, таких как азот или аргон, что значительно превосходит кварцевые трубы при высоких температурах.
-Превосходные характеристики теплового расширения : SiC имеет коэффициент теплового расширения, который близко соответствует коэффициенту теплового расширения аморфного кремния, что значительно снижает риск растрескивания или поломки из-за теплового расширения, что характерно для кварцевых трубок.
-Материалы высокой чистоты : Semicera предлагает трубки SiC с 99.99% чистота в сочетании с CVD-покрытия SiC с 99.99998% чистота. Это обеспечивает защиту пластин от примесей, устраняя проблемы загрязнения во время высокотемпературных процессов.
-Выдающаяся устойчивость к коррозии и износу : Трубки из карбида кремния обладают превосходной устойчивостью к коррозии и износу при высоких температурах, предотвращая потенциальное загрязнение и деградацию, часто связанные с кварцевыми трубками.
-Отличная устойчивость к тепловому удару : Обладая высокой теплопроводностью и замечательной термостойкостью, печные трубы из карбида кремния могут выдерживать быстрые изменения температуры, что делает их очень прочными в динамичных промышленных процессах.
Карбидные печные трубы Semicera широко используются в качестве замены кварцевых трубок в печах вертикального окисления, диффузионных печах и оборудовании RTP. Наша продукция успешно работает на различных объектах клиентов с 2018 года, демонстрируя свою исключительную производительность и надежность.
Кроме того, Semicera предлагает соответствующие продукты SiC высокой чистоты, в том числе SiC лодки , SiC трубки , Карбидные лопасти , и CVD-покрытия SiC для удовлетворения разнообразных потребностей высокотемпературных процессов.
– Более длительный срок службы и лучшая производительность в экстремальных условиях по сравнению с кварцевыми печными трубками.
– Снижение загрязнения примесями благодаря материалам высокой чистоты.
– Высокая термическая стабильность , даже при колебаниях температуры.
– Надежная и проверенная эффективность в таких отраслях, как производство полупроводников и фотоэлектрическое производство.
Выбирайте печные трубы из карбида кремния Semicera, чтобы повысить долговечность, сократить расходы на техническое обслуживание и получить превосходные результаты при работе при высоких температурах.
