Специальная трубка из карбида кремния высокой чистоты

Semicera предлагает изготавливаемые по индивидуальному заказу печные трубы из карбида кремния (SiC) высокой чистоты, предназначенные для высокотемпературных полупроводниковых и промышленных термических процессов. Трубки изготовлены из современных материалов SiC, обеспечивающих превосходную термическую стабильность, высокую механическую прочность и исключительную стойкость к коррозии и окислению.

Благодаря возможности точной механической обработки печные трубы могут быть изготовлены по чертежам заказчика с точки зрения размера, конструкции и требований к производительности, что обеспечивает совместимость с различными печными системами.

Описание

Semicera обеспечивает стабильное и высококачественное лодочки из кристаллов карбида кремния, лопатки из карбида кремния и печные трубы из карбида кремния. для производства полупроводниковых пластин размером от 4 до 6 дюймов. Чистота материала может достигать 99.9% , помогая обеспечить чистоту технологической среды без загрязнения пластин.

Эти компоненты SiC широко используются в высокотемпературных печах благодаря их превосходной термической стабильности, высокой прочности и устойчивости к химической коррозии.

Печная труба из карбида кремния-SIC-трубы1

Приложение

  • LTO (низкотемпературный оксид)
  • SIPOS (полиоксид кремния)
  • Si₃N₄ (осаждение нитрида кремния)
  • ПСГ (фосфосиликатное стекло)
  • POLY (выращивание пленки поликремния)

Печная труба из карбида кремния-трубы SIC2                Печная труба из карбида кремния-SIC-трубы3

В этих процессах сырье в форме газа или пара активируется под действием тепла и осаждается в виде тонкой твердой пленки на поверхности пластины.

Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD) обычно проводится при пониженном давлении. Это улучшает диффузию газа, что приводит к повышению однородности пленки. Он также обеспечивает вертикальную загрузку пластин и более высокую производительность партии, что делает его пригодным для крупномасштабного производства интегральных схем, силовых устройств, оптоэлектроники и оптического волокна.

ADFvZCVXCD

Семицера

Semicera Energy Technology Co., Ltd. является профессиональным производителем, занимающимся исследованиями и разработками, производством и продажей керамических изделий из карбида кремния (SiC).

С момента своего основания в 2016 году компания Semicera развила широкие возможности в области процессов формования и производства керамики, включая изостатическое прессование, сухое прессование, шликерное литье и вакуумную экструзию.

Компания управляет несколькими производственными линиями по спеканию керамики из карбида кремния и оснащена современным обрабатывающим оборудованием, включая обрабатывающие центры с ЧПУ и прецизионные шлифовальные станки, что обеспечивает стабильное качество и высокоточную обработку.

Помимо спеченных компонентов из карбида кремния, Semicera также предоставляет услуги по механической обработке и производству широкого спектра современной керамики, в том числе:

  • Керамика из карбида кремния (SiC)
  • Керамика из глинозема (Al₂O₃)
  • Керамика из нитрида алюминия (AlN)
  • Циркониевая (ZrO₂) керамика

Мы стремимся предоставлять надежное качество, точную обработку и долгосрочные решения по поставкам для полупроводниковой и высокотемпературной промышленности.

Новостная рассылка

С нетерпением ждем вашего контакта с нами