Высококачественная консольная лопатка из карбида кремния, изготовленная по индивидуальному заказу.

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. является ведущим поставщиком, специализирующимся на пластинах и современных полупроводниковых расходных материалах. Мы стремимся предоставлять высококачественную, надежную и инновационную продукцию для производства полупроводников, фотоэлектрической промышленности и других смежных областей. Наша линейка продуктов включает графитовые изделия с покрытием SiC/TaC и керамические изделия, включающие различные материалы, такие как карбид кремния, нитрид кремния, оксид алюминия и т. д. Как надежный поставщик, мы понимаем важность расходные материалы в производственном процессе, и мы стремимся поставлять продукцию, соответствующую самым высоким стандартам качества и удовлетворяющую потребности наших клиентов.

Semicera представляет высококачественные консольные лопатки из карбида кремния, созданные для улучшения процессов производства полупроводников. Инновационная конструкция лопасти из карбида кремния обеспечивает исключительную долговечность и высокую термостойкость, что делает ее незаменимым компонентом при работе с пластинами в сложных высокотемпературных условиях.

Лопатка из карбида кремния выдерживает экстремальные температурные циклы, сохраняя структурную целостность и обеспечивая надежную транспортировку пластин на критических этапах производства полупроводников. Благодаря превосходной механической прочности эта лодочка для вафель сводит к минимуму риск повреждения пластин, что приводит к более высокому выходу и стабильному качеству продукции.

Одна из ключевых инноваций в карбид-кремниевых лопатках Semicera заключается в возможности индивидуального дизайна. Лопатка, специально разработанная для удовлетворения конкретных производственных потребностей, обеспечивает гибкость интеграции с различными конфигурациями оборудования, что делает ее идеальным решением для современных производственных процессов. Легкая, но прочная конструкция упрощает обращение и сокращает время простоя в работе, способствуя повышению эффективности производства полупроводников.

В дополнение к своим термическим и механическим свойствам лопатка из карбида кремния обладает превосходной химической стойкостью, что позволяет ей надежно работать даже в агрессивных химических средах. Это делает его особенно подходящим для использования в процессах, включающих травление, осаждение и высокотемпературную обработку, где сохранение целостности лодочки для пластин имеет решающее значение для обеспечения высококачественной продукции.

 

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния 

Свойство

Типичное значение

Рабочая температура (°С)

1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)

содержание карбида кремния

> 99.96%

Бесплатный Si-контент

< 0.1%

Объемная плотность

2,60-2,70 г/см 3

Кажущаяся пористость

< 16%

Сила сжатия

&gt; 600 МПа

Прочность на холодный изгиб

80-90 МПа (20°С)

Прочность на горячий изгиб

90-100 МПа (1400°С)

Тепловое расширение при 1500°C

4.70 10 -6 /°С

Теплопроводность при 1200°C

23 Вт/м•К

Модуль упругости

240 ГПа

Устойчивость к термическому удару

Очень хорошо

Консольное весло (21)

Консольное весло (20)

fd658ca43ee41331d035aad94b7a9cc

Семицера Рабочее место

Семицера рабочее место 2

Оборудование машины

Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD

Склад Семицера

Наш сервис

Новостная рассылка

С нетерпением ждем вашего контакта с нами