Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. является ведущим поставщиком, специализирующимся на пластинах и современных полупроводниковых расходных материалах. Мы стремимся предоставлять высококачественную, надежную и инновационную продукцию для производства полупроводников, фотоэлектрической промышленности и других смежных областей. Наша линейка продуктов включает графитовые изделия с покрытием SiC/TaC и керамические изделия, включающие различные материалы, такие как карбид кремния, нитрид кремния, оксид алюминия и т. д. Как надежный поставщик, мы понимаем важность расходные материалы в производственном процессе, и мы стремимся поставлять продукцию, соответствующую самым высоким стандартам качества и удовлетворяющую потребности наших клиентов.
Semicera представляет высококачественные консольные лопатки из карбида кремния, созданные для улучшения процессов производства полупроводников. Инновационная конструкция лопасти из карбида кремния обеспечивает исключительную долговечность и высокую термостойкость, что делает ее незаменимым компонентом при работе с пластинами в сложных высокотемпературных условиях.
Лопатка из карбида кремния выдерживает экстремальные температурные циклы, сохраняя структурную целостность и обеспечивая надежную транспортировку пластин на критических этапах производства полупроводников. Благодаря превосходной механической прочности эта лодочка для вафель сводит к минимуму риск повреждения пластин, что приводит к более высокому выходу и стабильному качеству продукции.
Одна из ключевых инноваций в карбид-кремниевых лопатках Semicera заключается в возможности индивидуального дизайна. Лопатка, специально разработанная для удовлетворения конкретных производственных потребностей, обеспечивает гибкость интеграции с различными конфигурациями оборудования, что делает ее идеальным решением для современных производственных процессов. Легкая, но прочная конструкция упрощает обращение и сокращает время простоя в работе, способствуя повышению эффективности производства полупроводников.
В дополнение к своим термическим и механическим свойствам лопатка из карбида кремния обладает превосходной химической стойкостью, что позволяет ей надежно работать даже в агрессивных химических средах. Это делает его особенно подходящим для использования в процессах, включающих травление, осаждение и высокотемпературную обработку, где сохранение целостности лодочки для пластин имеет решающее значение для обеспечения высококачественной продукции.
|
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния |
|
|
Свойство |
Типичное значение |
|
Рабочая температура (°С) |
1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
|
содержание карбида кремния |
> 99.96% |
|
Бесплатный Si-контент |
< 0.1% |
|
Объемная плотность |
2,60-2,70 г/см 3 |
|
Кажущаяся пористость |
< 16% |
|
Сила сжатия |
> 600 МПа |
|
Прочность на холодный изгиб |
80-90 МПа (20°С) |
|
Прочность на горячий изгиб |
90-100 МПа (1400°С) |
|
Тепловое расширение при 1500°C |
4.70 10 -6 /°С |
|
Теплопроводность при 1200°C |
23 Вт/м•К |
|
Модуль упругости |
240 ГПа |
|
Устойчивость к термическому удару |
Очень хорошо |