Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. является ведущим поставщиком, специализирующимся на пластинах и современных полупроводниковых расходных материалах. Мы стремимся предоставлять высококачественную, надежную и инновационную продукцию для производства полупроводников, фотоэлектрической промышленности и других смежных областей. Наша линейка продуктов включает графитовые изделия с покрытием SiC/TaC и керамические изделия, включающие различные материалы, такие как карбид кремния, нитрид кремния, оксид алюминия и т. д. Как надежный поставщик, мы понимаем важность расходные материалы в производственном процессе, и мы стремимся поставлять продукцию, соответствующую самым высоким стандартам качества и удовлетворяющую потребности наших клиентов.
Semicera представляет высококачественные полупроводниковые консольные лопатки из карбида кремния, разработанные с учетом строгих требований современного производства полупроводников.
Лопасть из карбида кремния имеет усовершенствованную конструкцию, которая сводит к минимуму тепловое расширение и деформацию, что делает ее очень надежной в экстремальных условиях. Его прочная конструкция обеспечивает повышенную долговечность, снижая риск поломки или износа, что имеет решающее значение для поддержания высокой производительности и стабильного качества продукции. Конструкция лодочки для пластин также легко интегрируется со стандартным оборудованием для обработки полупроводников, обеспечивая совместимость и простоту использования.
Одной из выдающихся особенностей лопасти Semicera SiC является ее химическая стойкость, которая позволяет ей исключительно хорошо работать в средах, подверженных воздействию агрессивных газов и химикатов. Ориентация Semicera на индивидуализацию позволяет находить индивидуальные решения.
|
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния |
|
|
Свойство |
Типичное значение |
|
Рабочая температура (°С) |
1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
|
содержание карбида кремния |
> 99.96% |
|
Бесплатный Si-контент |
< 0.1% |
|
Объемная плотность |
2,60-2,70 г/см 3 |
|
Кажущаяся пористость |
< 16% |
|
Сила сжатия |
> 600 МПа |
|
Прочность на холодный изгиб |
80-90 МПа (20°С) |
|
Прочность на горячий изгиб |
90-100 МПа (1400°С) |
|
Тепловое расширение при 1500°C |
4.70 10 -6 /°С |
|
Теплопроводность при 1200°C |
23 Вт/м•К |
|
Модуль упругости |
240 ГПа |
|
Устойчивость к термическому удару |
Очень хорошо |
