Semicera Energy Technology Co., Ltd. является ведущим поставщиком, специализирующимся на пластинах и современных полупроводниковых расходных материалах. Мы стремимся предоставлять высококачественные, надежные и инновационные продукты для производства полупроводников, фотоэлектрической промышленности и других смежных областей. Наша линейка продуктов включает графитовые изделия с покрытием SiC/TaC и керамические изделия, включающие различные материалы, такие как карбид кремния, нитрид кремния, оксид алюминия и т. д. Как надежный поставщик, мы понимаем важность расходных материалов в производственном процессе, и мы стремимся поставлять продукцию, отвечающую самым высоким стандартам качества и удовлетворяющую потребности наших клиентов.
Описание продукта
Наша компания предоставляет услуги по нанесению покрытия SiC методом CVD на поверхность графита, керамики и других материалов, так что специальные газы, содержащие углерод и кремний, реагируют при высокой температуре с получением молекул SiC высокой чистоты, молекулы осаждаются на поверхности материалов с покрытием, образуя защитный слой SIC.
Основные особенности:
1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:
стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1600 C.
2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.
3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
1111111 Стивенсон
Основные характеристики покрытия CVD-SIC
|
Свойства SiC-CVD |
||
|
Кристаллическая структура |
FCC β-фаза |
|
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
|
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
|
Размер зерна |
мм |
2~10 |
|
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
|
Теплоемкость |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
|
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
|
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
|
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
|
Тепловое расширение (КТР) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
