Изостатическая графитовая лодочка PECVD широко используется в различных отраслях производства полупроводников, таких как осаждение поликремниевой пленки, осаждение оксидной пленки, осаждение нитридной пленки и т. д. Ее превосходные характеристики делают ее идеальным носителем пластин в процессе PECVD.
Изостатическая графитовая лодочка SEMICERA PECVD представляет собой графитовый продукт высокой чистоты и высокой плотности, предназначенный для поддержки пластин в процессе PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением). SEMICERA использует передовую технологию изостатического прессования, чтобы гарантировать, что графитовая лодочка обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, стабильностью размеров и хорошей теплопроводностью, что является незаменимым расходным материалом в процессе производства полупроводников.
▪ Высокая чистота: графитовый материал имеет высокую чистоту и низкое содержание примесей, что позволяет избежать загрязнения поверхности пластины.
▪ Высокая плотность: высокая плотность, высокая механическая прочность, выдерживает высокие температуры и высокий вакуум.
▪ Хорошая стабильность размеров: небольшое изменение размеров при высокой температуре обеспечивает стабильность процесса.
▪ Отличная теплопроводность: эффективно передает тепло, предотвращая перегрев пластины.
▪ Сильная коррозионная стойкость: способность противостоять эрозии различными агрессивными газами и плазмой.
|
Параметр производительности |
полуцерка | СГЛ R6510 | Параметр производительности |
| Насыпная плотность (г/см3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| Прочность на изгиб (МПа) | 63 | 60 | 49 |
| Прочность на сжатие (МПа) | 135 | 130 | 103 |
| Твердость по Шору (HS) | 70 | 64 | 60 |
| Коэффициент теплового расширения (10-6/К) | 85 | 105 | 130 |
| Коэффициент теплового расширения (10-6/К) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| Удельное сопротивление (мкОм·м) | 11-13 | 13 | 10 |
Преимущества выбора нас:
▪ Выбор материала: для обеспечения качества продукции используются графитовые материалы высокой чистоты.
▪ Технология обработки: Для обеспечения плотности и однородности продукта используется изостатическое прессование.
▪ Индивидуальный размер: графитовые лодки разных размеров и форм могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с потребностями клиента.
▪ Обработка поверхности: предусмотрены различные методы обработки поверхности, такие как покрытие из карбида кремния, нитрида бора и т. д., для удовлетворения различных технологических требований.
