Шлифовальный диск SiC для пластин – Ra 0,2 мкм, высокоточная обработка поверхности

Описание

Керамический шлифовальный диск из карбида кремния представляет собой высокоточный компонент технологического оборудования, предназначенный для производства пластин в полупроводниковой промышленности. Он в основном используется в процессах шлифования и полировки кремниевых пластин сверхбольших интегральных схем (ULSI).

По сравнению с традиционными шлифовальными кругами из чугуна или углеродистой стали, шлифовальные диски из SiC-керамики обеспечивают превосходную стабильность размеров, более длительный срок службы и значительно сниженную термическую деформацию, что делает их более подходящими для сложных требований обработки пластин.

Основные характеристики

• Высокая твердость и отличная износостойкость : Обеспечивает стабильную долговременную работу в условиях высокоскоростного шлифования.
• Низкий коэффициент теплового расширения : Точно соответствует материалам кремниевых пластин, повышая точность размеров.
• Высокая плоскостность и стабильность : Уменьшает деформацию во время обработки, обеспечивая параллельность пластин и качество поверхности.
• Отличная термическая стабильность : Сохраняет механические характеристики в условиях непрерывной обработки.
• Высокотемпературная прочность (до ~1600°С) : Отсутствие существенного снижения прочности при повышенных температурах.
• Устойчивость к окислению и коррозии : Подходит для суровых промышленных условий.
• Длительный срок службы : Снижает частоту технического обслуживания и производственные затраты.

Приложения

• Шлифование и полировка кремниевых пластин в производстве полупроводников.
• Обработка пластин сверхбольших интегральных схем (ULSI)
• Прецизионная притирка и полировка оптических или плоских материалов подложек.
• Высокоточная обработка поверхности керамических, металлических или блочных материалов.
• Высокотемпературные конструктивные элементы, такие как верхние плиты печи, опоры и экспериментальные приспособления.

Семицера

Семицера является производственно-ориентированным предприятием, специализирующимся на исследованиях, разработках, производстве и продаже керамических изделий из карбида кремния. С момента своего основания в 2016 году компания разработала собственные производственные мощности, освоив множество процессов формования, включая изостатическое прессование, крупнотоннажное прессование, шликерное литье и вакуумную экструзию.

Semicera управляет 6 производственными линиями по спеканию керамики из карбида кремния, а также 8 обрабатывающими центрами с ЧПУ и 6 прецизионными шлифовальными станками, что обеспечивает полностью интегрированное производство от необработанной формовки до точной механической обработки и чистовой обработки.

Помимо спеченных компонентов из карбида кремния, компания также предоставляет услуги по индивидуальной обработке и производству современных керамических материалов, включая керамику из карбида кремния, керамику из глинозема, керамику из нитрида алюминия и керамику из циркония, обеспечивая высокоточные и высоконадежные промышленные применения.