Графитовое направляющее кольцо с покрытием TaC компании Semicera Semiconductor разработано для выращивания кристаллов карбида кремния, обеспечивая исключительную износостойкость и термическую стабильность. Выбирайте Semicera для надежных и высокопроизводительных компонентов.
Графитовые направляющие кольца с покрытием TaC представляют собой нанесение тонкого слоя карбида тантала на поверхность графитового направляющего кольца для улучшения его износостойкости, устойчивости к высоким температурам и химической стабильности. Это покрытие обычно формируется на поверхности графитового направляющего кольца с помощью таких методов, как физическое осаждение из паровой фазы (PVD) или химическое осаждение из паровой фазы (CVD).
Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей. Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (токоприемник TaC с графитовым покрытием) и продлевая срок службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
После многих лет разработок, совместными усилиями отдела исследований и разработок, компания Semicera освоила технологию CVD TaC. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использования TaC разница значительна. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
Основные характеристики направляющих колец с графитовым покрытием TaC включают в себя::
1. Устойчивость к высоким температурам: покрытие TaC обладает превосходной стабильностью при высоких температурах и может сохранять стабильность в условиях высоких температур.
2. Износостойкость: высокая твердость тонкого слоя карбида тантала придает направляющему кольцу хорошую износостойкость и продлевает срок его службы.
3. Химическая стабильность: покрытие TaC обладает высокой устойчивостью к химической коррозии, что делает его пригодным для применения в некоторых агрессивных средах.
4. Уменьшение трения: покрытие TaC может эффективно снизить трение между графитовым направляющим кольцом и другими компонентами и повысить эффективность механических уплотнений.
Кроме того, продукты Semicera с покрытием TaC демонстрируют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению с продуктами Semicera. SiC-покрытия. Лабораторные измерения показали, что наши покрытия TaC могут стабильно работать при температурах до 2300 градусов Цельсия в течение длительного периода времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
