用硅碳化物涂料的石墨感受器6件6英寸晶圆载体

产品描述

在半导体，光伏和新能源工业中的高温过程（例如CVD，MOCVD，外在生长）中，晶圆载体的耐用性和稳定性直接影响生产率和成本。半导体中的6英寸硅碳化物涂层石墨载体（6包）是专门针对苛刻的过程环境设计的，并为您的生产线提供了高温，耐腐蚀和长寿的解决方案，并提供了最先进的材料和技术。生产线条具有尖端材料和过程技术，可提供高温，耐腐蚀，长寿的解决方案，有助于降低停机时间并提高容量的一致性。

核心好处：为什么选择Semicera的碳化物碳化物涂层石墨载体？

1.寿命更长的表现
CVD硅碳化物涂料技术：高纯度碳化硅（SIC）在表面上均匀地涂层，从而显着提高了对高温氧化（最高1600°C+）和化学腐蚀的耐药性，并避免了石墨底物与工艺气体反应，从而减少了质污染物的风险。

超低颗粒脱落速率：精确涂层过程可确保光滑和致密的表面，减少晶状刮擦和颗粒污染，并保证过程产量。

2.高效生产设计，降低了整体成本
标准化的6件配置：适应主流6英寸晶圆生产线，支持批处理处理，缩短过程周期并增加生产能力。

出色的热膨胀系数匹配：石墨底物和碳化硅涂层与热性能高度兼容，确保在高温下的结构稳定性，减少变形和开裂，并将使用寿命延长至普通石墨载体的3倍以上。

3. Full-Process质量保证，无忧交付
严格的质量控制标准：从高纯度等静力石墨基板到涂层过程，整个过程通过SEM/EDS测试，符合ASTM和半导体行业规格。

快速响应自定义：支持调整尺寸，涂料厚度和其他参数以满足特殊过程的需求。

技术参数

• 材料：等静力石墨 + CVD碳化硅涂料
• 适用的晶圆尺寸：6英寸
• 单个加载能力：6晶片
• 最高工作温度：1600°C（惰性气体环境)
• 涂料厚度：80-120μm（可自定义)
• 表面粗糙度：RA≤0.8μm

应用程序方案：护送关键过程链接

1. 半导体制造：硅外延，GAN沉积，碳化硅装置生产
2. 光伏字段：高效太阳能电池晶片的CVD涂层
3. 新能源材料：锂阳极材料的高温烧结

选择半导体的四个原因

✅ 自2015年以来，该行业中的深度投入了近十年：专门从事半导体核心组件研发，为全球200多家客户提供服务，包括一级PV和半导体公司。
✅ 技术驱动的创新：我们已经掌握了CVD硅碳化物涂料的核心技术，并获得了ISO 9001认证和许多专利的授予。
✅ 可持续制造承诺：采用绿色生产过程，减少能源消耗和废物排放以及实践社会责任。
✅ 全周期服务支持：从选择和咨询到售后维护，专业团队提供24小时的技术响应。
立即采取行动以升级您的流程设备！

无论您是建造新的生产线还是替换旧运营商，Semicera的碳化物碳化物涂层石墨载体将成为您可靠的合作伙伴，以较低的总体成本和较高的流程稳定性来提高竞争力。

单击以查询独家报价或请求免费的样品进行测试！

📞联系团队： +86-13373889683
📧电子邮件: sales01@semi-cera.com
🌐探索更多解决方案: www.cn-semicDuctorParts.com

为了效率而建立，致力于质量 - 半导体，您值得信赖的高级材料合作伙伴！