مروحة

Silicon Carbide Vacuum Chu and Wafer Handling يتكون الذراع من عملية ملحّة إيسوستاتيكية ودرجة حرارة عالية ويمكن الانتهاء من الأبعاد الخارجية والسماكة والتشكيلات وفقا لرسومات تصميم المستخدم لتلبية الاحتياجات المحددة للمستعمل.

وذراع مناولة الوافر هو معدات رئيسية تستخدم في عملية تصنيع شبه الموصلات من أجل التعامل مع وقود النقل والمواقع. It usually consists of a Robic arm, a gripper and a control system, with precise movement and positioning capabilities. وتُستخدم الأسلحة المصفحة على نطاق واسع في مختلف الروابط في صناعة شبه الموصلات، بما في ذلك خطوات عملية من قبيل تحميل الشوائب والتنظيف وتصوير الأفلام الرقيقة وما إلى ذلك، ورسم الليثيوغرافيا والتفتيش. وتتسم قدراته على الدقة والموثوقية والتشغيل الآلي بأهمية أساسية لضمان جودة وكفاءة واتساق عملية الإنتاج.

وتشمل المهام الرئيسية لجهاز مناولة الوفير ما يلي:

1 نقل الوفرة: ويمكن للذراع الذي يتعامل مع الوفير أن ينقل بدقة الوفيرات من موقع إلى آخر، مثل أخذ الخيوط من رف التخزين ووضعها في جهاز معالجة.

2. تحديد المواقع والتوجه: ويمكن لذراع مناولة الخنازير أن يوضع بدقة ويوجه الخنصر لضمان المواءمة الصحيحة ووضع العمليات اللاحقة للتجهيز أو القياس.

3 التنظيف والإطلاق: وعادة ما تكون الأسلحة المحملة بالوافير مجهزة بالقبضات التي يمكن أن تكون مائلة بشكل مأمون، وتطلق سراحها عند الحاجة لضمان النقل الآمن للوافير ومناولتها.

4 السيطرة الآلية: The wafer handling arm is equipped with an advanced control system that can automatically execute predetermined action sequences, improve production efficiency and reduce human errors.

الخصائص والمزايا

1 - الأبعاد المحددة والاستقرار الحراري.

2 - إن الاستخدام الطويل الأجل ليس من السهل تزييف التشويه على نحو يتسم بدرجة عالية من الدقة والتوحيد الحراري الممتاز.

3 ولها مقاومة سطحية وحسنة، ومن ثم معالجة الرقاقة بأمان دون تلوث الجسيمات.

4. Silicon carbide resistanceivity in 106-108, non-magnetic, in line with anti-ESD specification requirements; يمكنه منع تراكم الكهرباء الثابتة على سطح الرقاقة.

5 سلوك حراري جيد، معامل توسع منخفض.