يعد كربيد السيليكون (SiC) مادة أساسية في الجيل الثالث من أشباه الموصلات، لكن معدل إنتاجه كان عاملاً مقيدًا لنمو الصناعة. بعد اختبارات مكثفة في مختبرات Semicera، وجد أن TaC المرشوشة والمتكلسة تفتقر إلى النقاء والتجانس اللازمين. في المقابل، تضمن عملية CVD مستوى نقاء يبلغ 5 جزء في المليون وتوحيدًا ممتازًا. يؤدي استخدام CVD TaC إلى تحسين معدل إنتاج رقائق كربيد السيليكون بشكل ملحوظ. نحن نرحب بالمناقشات حول حلقات الجرافيت ثلاثية الأجزاء المطلية بـTaC لتقليل تكاليف رقائق SiC بشكل أكبر.
توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات. تتيح عملية الطلاء الرائدة في Semicera لطلاءات كربيد التنتالوم (TaC) تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، وتحسين جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC المطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
يعد كربيد السيليكون (SiC) مادة أساسية في الجيل الثالث من أشباه الموصلات، لكن معدل إنتاجه كان عاملاً مقيدًا لنمو الصناعة. بعد اختبارات مكثفة في مختبرات Semicera، وجد أن TaC المرشوشة والمتكلسة تفتقر إلى النقاء والتجانس اللازمين. في المقابل، تضمن عملية CVD مستوى نقاء يبلغ 5 جزء في المليون وتوحيدًا ممتازًا. يؤدي استخدام CVD TaC إلى تحسين معدل إنتاج رقائق كربيد السيليكون بشكل ملحوظ. نحن نرحب بالمناقشات حلقات ثلاثية الأجزاء من الجرافيت المطلية بـ TaC لمزيد من خفض تكاليف رقائق SiC.
بعد سنوات من التطوير، تمكنت شركة Semicera من غزو تكنولوجيا CVD TaC من خلال الجهود المشتركة لقسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SiC، ولكن بعد استخدام TaC، يكون الفرق كبيرًا. فيما يلي مقارنة بين الرقاقات التي تحتوي على TaC وبدونها، بالإضافة إلى أجزاء Simicera للنمو البلوري الفردي.
علاوة على ذلك، تتميز منتجات Semicera المطلية بـ TaC بعمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بالمنتجات الأخرى. طلاءات كربيد السيليكون. أثبتت القياسات المعملية أن طلاءات TaC الخاصة بنا يمكن أن تعمل باستمرار عند درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
