تم تصميم لوحة الجرافيت المسامية المطلية بـ TaC للتطبيقات عالية الأداء في البيئات الحرارية والكيميائية الشديدة. يجمع هذا المنتج بين الوزن الخفيف والمرونة العالية لدرجات الحرارة للجرافيت المسامي مع طلاء كربيد التنتالوم المترسب كيميائيًا (TaC)، ويوفر توازنًا فريدًا من القوة الميكانيكية ومقاومة الأكسدة والاستقرار الهيكلي. مثالية لنمو بلورات SiC والبيئات من فئة أشباه الموصلات
|
المعلمة |
مواصفة |
|
المواد الأساسية |
ضغط متساوي الضغط على الجرافيت المسامي |
|
الكثافة الظاهرية |
1.8 – 2.1 جم/سم3 |
|
المسامية |
40 – 60% |
|
نطاق حجم المسام |
50 - 200 ميكرومتر |
|
قوة ضاغطة |
≥ 80 ميجا باسكال (قبل الطلاء) |
|
طريقة الطلاء |
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) |
|
مواد الطلاء |
كربيد التنتالوم (TaC) |
|
سمك الطلاء |
2 - 35 ميكرومتر (مع منطقة انتقالية متدرجة) |
|
درجة حرارة العمل |
ما يصل إلى 1800 درجة مئوية في البيئات الخاملة أو المختزلة |
|
التخصيص |
الأبعاد والمسامية وسمك الطلاء المتاحة |
يشكل طلاء TaC طبقة حماية طبقة زجاجية Ta₂O₅ تحت ظروف الأكسدة، مما يقلل بشكل كبير من معدل الأكسدة.
عند 800 درجة مئوية في الهواء:
• الجرافيت غير المطلي: 12 ملجم/سم²·ساعة
• لوحة المغلفة TaC: 0.3 ملغم/سم²·ساعة
تعمل البنية المجهرية المتدرجة بين TaC والجرافيت على تقليل الضغط الحراري بين الوجهين بنسبة تصل إلى 67% ، منع التصفيح أو التشقق تحت التدوير الحراري.
تم تحسين القوة بمقدار 3× في اختبار Semicera Lab عندما تكون قوة القاعدة ≥ 80 ميجا باسكال.
يحافظ على الاستقرار الهيكلي تحت 1800 درجة مئوية / 10 ميجا باسكال ، مع 8× قدرة تحمل أطول من ألواح الجرافيت غير المطلية.
مقاوم لـ H₂ وHCl وNH₃ وغيرها من الأجواء العدوانية، مما يجعله خيارًا موثوقًا به موكفد، بيكفد وأنظمة الفرن عالية النقاء.
صناعة أشباه الموصلات
لوحات الناقل MOCVD وقواعد المستقبل
البوتقات، وحلقات التوجيه، والدروع الحرارية في نمو كريستال كربيد السيليكون
الفضاء والدفاع
مكونات العزل الحراري والحاجز الحراري
أنظمة الطاقة
ركائز وسيط النيوترونات ومكونات الدعم عالية التحميل في ظل ظروف الفراغ/الخاملة
التخصيص والطلب
الأشكال والأبعاد المخصصة المتاحة
سُمك الطلاء ومساميته مصممان خصيصًا لتلبية احتياجات العملية الخاصة بك
دعم النماذج الأولية السريعة والإنتاج بكميات كبيرة
يتم إنتاج جميع اللوحات بموجب أنظمة متوافقة مع ISO، وذلك باستخدام السلائف فائقة النقاء والمفاعلات من فئة CVD لضمان جودة متسقة، والتصاق الطلاء القابل للتكرار، وسلامة السطح الفائقة.