يستخدم كربيد التنتالوم المسامي بشكل أساسي لترشيح مكونات الطور الغازي، وضبط تدرج درجة الحرارة المحلية، وتوجيه اتجاه تدفق المواد، والتحكم في التسرب، وما إلى ذلك. ويمكن استخدامه مع كربيد التنتالوم الصلب الآخر (المدمج) أو طلاء كربيد التنتالوم من تقنية Semicera لتشكيل مكونات محلية ذات موصلية تدفق مختلفة.
توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات. تتيح عملية الطلاء الرائدة في Semicera لطلاءات كربيد التنتالوم (TaC) تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، وتحسين جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC المطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
بعد سنوات من التطوير، تمكنت شركة Semicera من غزو تكنولوجيا CVD TaC من خلال الجهود المشتركة لقسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SiC، ولكن بعد استخدام TaC، يكون الفرق كبيرًا. فيما يلي مقارنة بين الرقاقات التي تحتوي على TaC وبدونها، بالإضافة إلى أجزاء Semicera للنمو البلوري الفردي
بالإضافة إلى ذلك، فإن عمر خدمة منتجات طلاء TaC من Semicera أطول وأكثر مقاومة لدرجات الحرارة المرتفعة من طلاء SiC. بعد وقت طويل من بيانات القياس المختبري، يمكن أن يعمل TaC الخاص بنا لفترة طويلة عند درجة حرارة قصوى تصل إلى 2300 درجة مئوية. وفيما يلي بعض العينات لدينا:
