With the advent of 8-inch silicon carbide (SiC) wafers, the requirements for various semiconductor processes have become increasingly stringent, especially for epitaxy processes where temperatures can exceed 2000 degrees Celsius. Traditional susceptor materials, such as graphite coated with silicon carbide, tend to sublimate at these high temperatures, disrupting the epitaxy process. However, CVD tantalum carbide (TaC) effectively addresses this issue, withstanding temperatures up to 2300 degrees Celsius and offering a longer service life. Contact Semicera’s Tantalum carbide (TaC) Coating Planetary Plate to explore more about our advanced solutions.
Semicera biedt gespecialiseerde tantalum carbide (TAC) coatings voor verschillende componenten en dragers. Semicera toonaangevend coatingproces stelt tantalum carbide (TAC) coatings in staat om een hoge zuiverheid, stabiliteit met hoge temperatuur en hoge chemische tolerantie te bereiken, de productkwaliteit van SIC/GAN -kristallen en EPI -lagen te verbeteren ((Graphiet gecoate TAC Susceptor) en de levensduur van belangrijke reactorcomponenten verlengen. Het gebruik van tantalum carbide -taccoating is om het randprobleem op te lossen en de kwaliteit van de kristalgroei te verbeteren, en semicera heeft doorbraak de tantalum carbide coatingtechnologie (CVD) opgelost, waardoor het internationale geavanceerde niveau wordt bereikt.
Na jaren van ontwikkeling heeft Semicera de technologie veroverd van CVD TAC met de gezamenlijke inspanningen van de R & D -afdeling. Defecten zijn gemakkelijk op te treden in het groeiproces van SIC -wafels, maar na het gebruik TAC, het verschil is significant. Hieronder is een vergelijking van wafels met en zonder TAC, evenals de onderdelen van Simicera voor enkele kristalgroei.
Bovendien, Semicera's TAC-gecoate producten een langere levensduur en een grotere weerstand van hoge temperatuur vertonen in vergelijking met Sic coatings. Laboratoriummetingen hebben aangetoond dat onze TAC -coatings Kan consequent presteren bij temperaturen tot 2300 graden Celsius voor langere periodes. Hieronder staan enkele voorbeelden van onze monsters:
