Semicera предлагает широкий ассортимент токоприемников и графитовых компонентов, предназначенных для различных эпитаксионных реакторов. Благодаря стратегическому партнерству с ведущими OEM-производителями, обширному опыту в области материалов и передовым производственным возможностям, Semicera предлагает индивидуальные конструкции, отвечающие конкретным требованиям вашего применения. Наше стремление к совершенству гарантирует, что вы получите оптимальные решения для нужд вашего эпитаксионного реактора.
Наша компания предоставляет услуги по нанесению покрытия SiC на поверхность графита, керамики и других материалов методом CVD, чтобы специальные газы, содержащие углерод и кремний, могли вступать в реакцию при высокой температуре с получением молекул Sic высокой чистоты, которые можно наносить на поверхность материалов с покрытием для формирования защитного слоя SiC для гипнотического эпитаксии цилиндрического типа.
1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:
стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1600 C.
2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.
3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
| Свойства SiC-CVD | ||
| Кристаллическая структура | FCC β-фаза | |
| Плотность | г/см³ | 3.21 |
| Твердость | Твердость по Виккерсу | 2500 |
| Размер зерна | мм | 2~10 |
| Химическая чистота | % | 99.99995 |
| Теплоемкость | Дж·кг-1 ·К-1 | 640 |
| Температура сублимации | ℃ | 2700 |
| Фелексуральная сила | МПа (RT 4-точечный) | 415 |
| Модуль Юнга | Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) | 430 |
| Тепловое расширение (КТР) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Теплопроводность | (Вт/мК) | 300 |
